Pompa turbomolecolare per forni tubolari
La pompa turbomolecolare è composta da statori tra diversi rotori ad alta velocità. La velocità di rotazione è di circa 90.000 giri al minuto. A queste velocità, il rotore si trova nella gamma della velocità delle particelle che permette al gas di essere spinto attraverso la pompa. Se combinato con una pompa per il pre-vuoto, il livello di vuoto ottenibile è nella gamma dell'alto vuoto o superiore.
Le pompe turbomolecolari sono le pompe più convenienti e più frequentemente utilizzate per il funzionamento in alto e ultra alto vuoto. Si ottiene una purezza atmosferica molto elevata della camera del forno, poiché la pompa rimuove facilmente le particelle pesanti e lente, come gli idrocarburi.
La versione della pompa turbomolecolare di Carbolite Gero consiste in una pompa da vuoto, un pacchetto di gas inerte, un misuratore di vuoto, una valvola a tenuta di vuoto, un bypass per lo spurgo veloce, una valvola di uscita del gas e una valvola di sicurezza per la sovrapressione. In un forno freddo, pulito, asciutto e vuoto l'opzione turbo pompa raggiunge 5 x 10-5 mbar.
