AZ è un forno tubolare a otto zone per profili a temperatura controllata. Queste zone possono essere utilizzate per generare profili di temperatura lungo la lunghezza riscaldata del forno.
Con otto zone, un isolamento spesso e un avvolgimento altamente simmetrico degli elementi riscaldanti in tutto il forno, AZ offre un'uniformità migliore di ± 5 ° C. Un vantaggio essenziale delle otto zone controllate è l'estensione della lunghezza uniforme all'interno del forno. Inoltre, il profilo della temperatura può essere controllato con precisione per aumenti lineari, picchi o altri profili definiti dall'utente.
Un processo ben adatto per il forno tubolare AZ è la deposizione di vapore chimico, poiché è possibile stabilire un gradiente di temperatura per l'evaporazione del materiale nella zona terminale ad alta temperatura e la sublimazione del vapore sul substrato nella zona terminale della temperatura più fredda. Tutte le zone sono controllate e monitorate individualmente con termocoppie.
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